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Microscope Projection Photolithography of Polymeric Optical Micro- and Nanocomponents

verfasst von
Lei Zheng, Carsten Reinhardt, Bernhard Roth
Organisationseinheit(en)
Hannoversches Zentrum für Optische Technologien (HOT)
PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme
Externe Organisation(en)
Hochschule Bremen
Typ
Aufsatz in Konferenzband
Anzahl der Seiten
7
Publikationsdatum
28.02.2020
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Peer-reviewed
Ja
ASJC Scopus Sachgebiete
Elektronische, optische und magnetische Materialien, Physik der kondensierten Materie, Angewandte Informatik, Angewandte Mathematik, Elektrotechnik und Elektronik
Elektronische Version(en)
https://doi.org/10.1117/12.2546679 (Zugang: Geschlossen)