High-Resolution Optical Broadband Monitoring for the Production of Miniaturized Thin-Film Filters

verfasst von

F. Carstens, H. Ehlers, S. Schlichting, L. Jensen, Detlev Ristau

Abstract

To increase the accuracy of layer thicknesses in the production of miniaturized thin-film filters controlled by optical broadband monitoring, a high-resolution monitoring system was developed and evaluated by coating simulations and experiments.

Organisationseinheit(en)

PhoenixD: Simulation, Fabrikation und Anwendung optischer Systeme

Externe Organisation(en)

Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Anzahl der Seiten

3

Publikationsdatum

2019

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Elektronische, optische und magnetische Materialien, Werkstoffmechanik

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.1364/OIC.2019.WA.7 (Zugang: Geschlossen)